欢乐颂3电视剧全集免费观看,中文字幕爆乳巨爆乳系列,双性受抽搐潮喷调教老师与学生,熟妇高潮精品一区二区三区

技術文章

Technical articles

當前位置:首頁技術文章其實,你并不了解小型濺射儀

其實,你并不了解小型濺射儀

更新時間:2022-04-26點擊次數(shù):1487
  小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子會受到電場和磁場作用,產生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運動軌跡近似一條擺線。
 
  若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內,并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材,從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠離靶表面,并在電場E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
 
  小型濺射儀包括:氣路、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。其中:
 
  (1)氣路系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射系統(tǒng)應包括一套完整的氣路系統(tǒng)。但是,與PECVD系統(tǒng)不同的是,PECVD系統(tǒng)中,氣路中為反應氣體的通道。而磁控濺射系統(tǒng)氣路中一般為Ar、N2等氣體。這些氣體并不參與成膜,而是通過發(fā)生輝光放電現(xiàn)象將靶材原子轟擊下來,使靶材原子獲得能量沉積到襯底上成膜。
 
  (2)真空系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射沉積薄膜前需要將真空腔室抽至高真空。因此,其真空系統(tǒng)也包括機械泵、分子泵這一高真空系統(tǒng)。
 
  (3)循環(huán)水冷卻系統(tǒng):工作過程中,一些易發(fā)熱部件(如分子泵)需要使用循環(huán)水帶走熱量進行冷卻,以防止部件損壞。
 
  (4)控制系統(tǒng):綜合控制PECVD系統(tǒng)各部分協(xié)調運轉完成薄膜沉積,一般集成與控制柜。
一天不日b浑身难受| 评书三国演义袁阔成播讲365集| 亚洲色成人网站www永久四虎 | 尤物视频在线观看| 河南妇女毛浓浓bw| 野外被三个男人躁一夜小说| japan少妇洗澡videos| 被黑人伦流澡到高潮HNP动漫| 国产免费内射又粗又爽密桃视频 | 在车里被弄了h野战| 国内少妇人妻偷人精品xxx| 在教室伦流澡到高潮h| 99久久国产露脸国语对白| 一边摸一边做爽的视频17国产| 西西里的美丽传说在线观看| 黄色电影免费观看| 香港奇案之吸血贵利王| 全彩调教本子h里番全彩无码| 富婆性俱乐部纵欲狂| 中文字日产幕码三区的做法大全 | xxxxx性bbbbb欧美| 国产中年熟女高潮大集合| 一本色道婷婷久久欧美| 亚洲va欧美va天堂v国产综合| 国产精品99久久久久久| h漫在线观看| 69久久久久精品9999不卡片| 10000拍拍18勿入免费看| 波多野结衣高清无碼中文字幕| 苍井そら无码av| 中国老熟女重囗味HDXX| 欧洲熟妇色xxxxx欧美老妇伦| 男同桌上课用手指进去了好爽| 邻居少妇张开腿让我爽了在线观看| 吉林小伟无套gay| 亚洲av永久无码精品三区在线| 欧洲精品码一区二区三区免费看| chinese少妇偷sex国语| 成人国产片女人爽到高潮| 被窝里的翁憩二十六| 我被六个男人躁到早上|